Om Micronova
Överblick av kapaciteten
Micronovas anläggningar möjliggör flexibel bearbetning och integration av mikro- och nanoelektroniska, mikromekaniska, fotoniska och fluidiska anordningar. Substratmaterial innefattar silikon, III-V halvledare, glas och kvarts. Huvudskivans storlek är 150 mm, men även 200 mm och 100 mm stöds för vissa processer. För vissa ändamål används även mindre prover. Alla nödvändiga kärnprocesssteknologier finns tillgängliga, inklusive optisk och nanolitografi, CMOS och BiCMOS, torr och våt etsning, fokuserad ionbalkkvarning, mikropackning, rånbindning, tunnfilmshantering och epitaxial deponering.
M1 renrum
Pilotfabriken M1 är avsedd för forskning och tillverkning och drivs av VTT för att erbjuda nyckeltjänster till industrin genom kontraktsforskningsprojekt eller tjänster för tillverkning via dotterbolaget VTT Memsfab Oy.
För utrustning som finns i M1-renrummet, se utrustningens databas LIMS: ().
Utrustningen i M1-renrummet är verktyg med verktygs-ID som börjar med 1A - 1E och 1G - 1J.
M2 renrummet
M2 Nanofabrication Cleanroom är en gemensam Aalto/VTT-forskningsanläggning med öppen åtkomstpolitik där process- och mätutrustning kan användas enligt separata avtal från andra universitet, forskningsinstitut och företag.
Renligheten sträcker sig från ISO 7 (F13 "analyslab") till ISO 4 (F8 "litografi").
För utrustning som finns i M2-renrummet, se utrustningens databas se LIMS: ().
Verktygen med ID som börjar med 1F eller 2F ligger i M2 cleanroom.
QEHS
Kvalitet
VTT Nanofabrication Center har beviljats ​​ett ISO9001: 2008 certifikat för tillverkning av små volymer av material och apparater för mikro-, nano- och optoelektroniska ändamål, underkontraktering av rånprocess och anläggningsunderhåll. De förfaranden som beskrivs i kvalitetsdokumentationen gäller också för det arbete som utförts av VTT Memsfab och andra parter som använder renrummet.
Genom att arbeta enligt riktlinjerna strävar vi efter att kontinuerligt förbättra tjänsterna för våra kunder, minska tiden för genomströmning, förbättra avkastningen och minimera driftstoppet.
Vår databas för processregistrering är grunden för kvalitetssystemet. Genom att registrera all utrustning och underhåll säkerställer vi fullständig spårbarhet av processen, efterföljande av specifikt parti och statistiska data. Genom övervakning av standardrecept kontrollerar vi stabiliteten hos den kritiska utrustningen.
Kundanmälningar och internt upptäckta problem hanteras med 8D-metoden. Genom att genomföra korrigerande och förebyggande åtgärder strävar vi efter att förhindra återkommande avvikelser. Genom förebyggande åtgärder och träning skapar vi en säker arbetsmiljö och strävar efter att förebygga olyckor.
ISO 14000
Hälsa och säkerhet
Säkerhet i arbetsmiljön ges hög prioritet i Micronova Nanofabrication Center. Huvudansvaret ligger hos säkerhetsgruppen både för personalsäkerhet, larmsystem och riskbedömning av utrustning.
Räddningsteamet är utbildat för första hjälp och hantering av eventuella exceptionella situationer som brand, gasläckage, kemiska spill- och kemikalieolyckor.
Brandskydd bygger på ett brandprovtagningssystem för provtagning som täcker renrum och tryckkammare och ett automatiskt brandsläckningssystem. Våta bänkar och dragskåp är skyddade med koldioxidsläckning som utlöses av flamdetektorer.
Gaslarmsystemet för giftiga gaser utnyttjar elektrokemiska sensorer och ger ett larm att evakuera byggnaden vid detektering av mycket små koncentrationer av giftiga gaser. Detektorerna placeras i gasskåp, ventilförgreningsboxar och andra platser där läckage måste detekteras. Ett larm leder också till att gascylindern stängs av. Alla skåp och utrustning där giftiga, explosiva eller frätande gaser används är anslutna till ett UPS-stött avgassystem.